近年來，在深圳集成電路工廠和深圳廠房裝修的數(shù)量迅速增加，建設(shè)一座集成電路工廠需要花費數(shù)億美元，由于其生產(chǎn)的復(fù)雜性和連續(xù)的特點，需要有很多的動力供應(yīng)系統(tǒng)連續(xù)穩(wěn)定運行才能滿足生產(chǎn)要求，動力系統(tǒng)對工廠來說就像一個人的血液循環(huán)系統(tǒng)一樣，不允許出現(xiàn)任何故障。

集成電路工廠運行維護的目的

安全性

一般的集成電路工廠都要使用到幾十種化學(xué)藥品和特殊氣體，而這些化學(xué)藥品中不乏有毒、強腐蝕、易燃易爆等危險品，加上相對集中而又密閉的作業(yè)環(huán)境，如何保證工廠的安全是擺在我們面前的首要問題，即便是在管理水平很高的發(fā)達國家，集成電路工廠的事故也常有發(fā)生，今年上半年在國內(nèi)的集成電路工廠出現(xiàn)過藥品泄漏事件、火災(zāi)事故、特殊氣體泄漏事故也不在少數(shù)，應(yīng)該引起我們的高度重視。

穩(wěn)定性

這是指為滿足生產(chǎn)所需要的各種動力條件品質(zhì)的穩(wěn)定性，包括凈化間的溫濕度穩(wěn)定、純水、氣體、電力、藥品等的穩(wěn)定供應(yīng)，因為一旦某個系統(tǒng)出現(xiàn)熱任何問題都會影響整個生產(chǎn)線，輕則造成返工，重則成批產(chǎn)品報廢。

環(huán)保性

集成電路生產(chǎn)要排出大量的廢水、廢氣、廢液及固體廢棄物，保證這些有毒有害的物質(zhì)得到合理處理，減少對環(huán)境的污染是我們共同的責(zé)任。